一種真空校準(zhǔn)系統(tǒng)及其檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110929956.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113670511A 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN113670511A 申請公布日 2021-11-19
分類號 G01L21/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳青云;沈文科;繆文瑤;俞益;汪斐;張達(dá);王雷;吳杰 申請（專利權(quán)）人 寧波愛發(fā)科真空技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波知坤專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張青云
地址 315000浙江省寧波市科技園區(qū)明珠路348號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空泵領(lǐng)域，公開了一種真空校準(zhǔn)系統(tǒng)及其檢測方法，其技術(shù)方案要點是包括處理模塊、第一接口管路和第二接口管路，第一接口管路用于與產(chǎn)品連接，第二接口管路用于與抽空設(shè)備連接，可以實時檢測到產(chǎn)品的真空度，知道產(chǎn)品是否合格，并且在檢測到數(shù)據(jù)異常時，通過第二檢測單元和標(biāo)準(zhǔn)容器來判定抽空設(shè)備是否損壞，抽空設(shè)備多次對標(biāo)準(zhǔn)容器進(jìn)行抽空，通過放氣閥實現(xiàn)將空氣導(dǎo)入標(biāo)準(zhǔn)容器，并將多次抽空時的第二檢測數(shù)據(jù)與性能參數(shù)作對比，如果兩者偏差較大，則判定為抽空設(shè)備異常，提醒工作人員對抽空設(shè)備進(jìn)行維修，可以檢測是產(chǎn)品出現(xiàn)了問題還是抽空設(shè)備出現(xiàn)了問題，無需人工或額外的檢測設(shè)備進(jìn)行檢測，可以實現(xiàn)自檢。