碳化硅結型場效應管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022648802.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213988892U 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN213988892U 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01L29/06（2006.01）I;H01L29/08（2006.01）I;H01L29/808（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張梓豪 申請（專利權）人 派恩杰半導體（杭州）有限公司
代理機構 北京知夏律師事務所 代理人 孫海龍
地址 311215浙江省杭州市蕭山區(qū)平瀾路518號悅盛國際中心603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種碳化硅結型場效應管。該碳化硅結型場效應管包括碳化硅襯底（101）、設置在碳化硅襯底上的碳化硅外延層（102）、阻斷注入?yún)^(qū)（103）、設置在碳化硅外延層（102）的左右兩側的兩個柵極注入?yún)^(qū)（104）和兩個源極注入?yún)^(qū)（105）、以及柵極金屬電極（107）和源極金屬電極（106），該柵極注入?yún)^(qū)（104）的正向截面為L型，包括豎直邊和垂直邊，在側向沿整個碳化硅外延層（102）延伸，兩個柵極注入?yún)^(qū)（104）的L型截面的豎直邊相背對；源極注入?yún)^(qū)（105）設置在對應的L型截面的橫邊上，沿整個碳化硅外延層（102）的側向延伸，阻斷注入?yún)^(qū)（103）與兩個柵極注入?yún)^(qū)（104）的L型截面的豎直邊分別通過第一連通柱（110）相連接。