VCSEL激光器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010983765.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114204410A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114204410A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) H01S5/042（2006.01）I;H01S5/183（2006.01）I;H01S5/187（2006.01）I;H01S5/343（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王朝成;田志偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江睿熙科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅曉飛
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通運(yùn)街358號(hào)2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环NVCSEL激光器及其制備方法。所述VCSEL激光器，包括：外延結(jié)構(gòu)；形成于所述外延結(jié)構(gòu)上且電連接于所述外延結(jié)構(gòu)的種子金屬層；形成于所述種子金屬層上且電連接于所述種子金屬層的第一電極，其中，所述第一電極具有貫穿地形成于其中且對(duì)應(yīng)于所述氧化開孔的出光孔；設(shè)置于所述種子金屬層的周圍的保護(hù)層，其中，所述保護(hù)層隔離所述種子金屬層于外界；以及，電連接于所述外延結(jié)構(gòu)的第二電極。這樣，在所述種子金屬層的周圍設(shè)置用于將所述種子金屬層與外界相隔離的保護(hù)層，以有效地防止所述種子金屬層被暴露而發(fā)生異化，從而確保所述VCSEL激光器的性能穩(wěn)定性。