可分區(qū)導(dǎo)通的VCSEL激光光源及其制備方法和驅(qū)動(dòng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010330883.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113644545A 公開（公告）日 2021-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113644545A 申請(qǐng)公布日 2021-11-12
分類號(hào) H01S5/183（2006.01）I;H01S5/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林珊珊;郭銘浩;李念宜;王立;姚毅飛;李?yuàn)檴?郝宇杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江睿熙科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅曉飛
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通運(yùn)街358號(hào)2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N可分區(qū)導(dǎo)通的VCSEL激光光源、制備方法及驅(qū)動(dòng)方法。該光源包括：VCSEL陣列；形成于所述VCSEL陣列頂部的頂部電導(dǎo)通圖案，以及，形成于所述VCSEL陣列底部的底部電導(dǎo)通圖案。所述VCSEL陣列，包括相互電隔離的多個(gè)VCSEL單元，其中每一VCSEL單元自下而上包括襯底、底部反射器、有源區(qū)、具有開孔的限制層、頂部反射器和歐姆接觸層。所述底部電導(dǎo)通圖案包括第一電導(dǎo)通圖案和第二電導(dǎo)通圖案，其中所述第一電導(dǎo)通圖案電連接于所述多個(gè)VCSEL單元中的第一子集，以及，所述第二電導(dǎo)通圖案電連接于所述多個(gè)VCSEL單元中的第二子集。這樣，所述激光光源通過負(fù)極布線的方式實(shí)現(xiàn)分區(qū)導(dǎo)通，以解決散熱難題并能夠適應(yīng)不同的應(yīng)用場景。