單片集成式VCSEL芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010919648.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114142346A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114142346A 申請公布日 2022-03-04
分類號 H01S5/42（2006.01）I;H01S5/183（2006.01）I;H01S5/187（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭銘浩;林珊珊;王立;李念宜 申請（專利權(quán)）人 浙江睿熙科技有限公司
代理機構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅曉飛
地址 311113浙江省杭州市良渚街道通運街358號2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種單片集成式VCSEL芯片，其包括第一VCSEL子芯片，所述第一VCSEL芯片包括以第一陣列布設(shè)的多個第一VCSEL單元；以及與所述第一VCSEL子芯片單片集成地第二VCSEL子芯片，所述第二VCSEL子芯片包括以第二陣列布設(shè)的多個第二VCSEL單元；其中，所述第一VCSEL子芯片與所述第二VCSEL子芯片在結(jié)構(gòu)上共用N?DBR結(jié)構(gòu)。這樣，所述單片集成式VCSEL芯片在晶圓級別上實現(xiàn)將多個VCSEL芯片進行單片地集成，以使得其能夠兼具不同的VCSEL芯片各自的優(yōu)勢，且具有相對較小的整體尺寸。