一種高多層板背鉆孔層間深度測試結(jié)構(gòu)及方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011290947.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112797887A | 公開(公告)日 | 2021-05-14 |
申請公布號 | CN112797887A | 申請公布日 | 2021-05-14 |
分類號 | G01B7/26;H05K1/02;H05K3/00 | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 龔磊;吳云鵬 | 申請(專利權(quán))人 | 天津普林電路股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李蓓蕾 |
地址 | 300000 天津市濱海新區(qū)自貿(mào)試驗區(qū)(空港經(jīng)濟區(qū))航海路53號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種高多層板背鉆孔層間深度測試結(jié)構(gòu)及方法,該測試結(jié)構(gòu)包括:至少一條高度與目標層高度齊平的第一測試線條;以及在電性能需求層一側(cè)與目標層相鄰的第一鄰接層齊平的第二測試線條。本發(fā)明通過設(shè)置測試線條,通過測試線條的通斷來對鉆孔深度進行測試,從而實現(xiàn)對對背鉆深度的準確控制。 |
