一種高多層板背鉆孔層間深度測(cè)試結(jié)構(gòu)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011290947.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112797887A 公開(公告)日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN112797887A 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類號(hào) G01B7/26;H05K1/02;H05K3/00 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 龔磊;吳云鵬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 天津普林電路股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李蓓蕾
地址 300000 天津市濱海新區(qū)自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)(空港經(jīng)濟(jì)區(qū))航海路53號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高多層板背鉆孔層間深度測(cè)試結(jié)構(gòu)及方法,該測(cè)試結(jié)構(gòu)包括:至少一條高度與目標(biāo)層高度齊平的第一測(cè)試線條;以及在電性能需求層一側(cè)與目標(biāo)層相鄰的第一鄰接層齊平的第二測(cè)試線條。本發(fā)明通過設(shè)置測(cè)試線條,通過測(cè)試線條的通斷來對(duì)鉆孔深度進(jìn)行測(cè)試,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)背鉆深度的準(zhǔn)確控制。