一種激光成像曝光機(jī)提高臺(tái)面吸板真空度裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022743278.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213843754U 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN213843754U 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津普林電路股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李蓓蕾
地址 300000天津市濱海新區(qū)自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）航海路53號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種激光成像曝光機(jī)提高臺(tái)面吸板真空度裝置，包括粘接固定連接在曝光機(jī)臺(tái)面頂端的密封裝置，所述密封裝置用于密封住臺(tái)面上的真空孔，所述密封裝置包括若干阻氣墊片，各阻氣墊片之間為粘接連接，所述粘接連接使用膠帶粘接實(shí)現(xiàn)，所述阻氣墊片均為透明基片。本實(shí)用新型提高了激光成像曝光機(jī)真空度，防止出現(xiàn)曝光解析不良或?qū)ξ黄坏葐栴}。