集成電路工藝檢測設備(Xi-Line 530)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200930099014.3 申請日 -
公開（公告）號 CN301139090D 公開（公告）日 2010-02-17
申請公布號 CN301139090D 申請公布日 2010-02-17
分類號 10-05 分類 -
發(fā)明人 謝歷銘 申請（專利權）人 上海澤爾尼儀器有限公司
代理機構 上海世貿(mào)專利代理有限責任公司 代理人 葉克英
地址 201411上海市奉賢區(qū)奉城鎮(zhèn)人本工業(yè)園德勝路111號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 1.使用本外觀設計的產(chǎn)品為大型落地產(chǎn)品，省略仰視圖。2.使用本外觀設計的產(chǎn)品用于晶圓光刻集成電路尺寸檢測和掩膜板/光罩激光刻蝕尺寸檢測。