一種高均勻合成石英坨的制備工藝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202111402818.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113912270A | 公開(公告)日 | 2022-01-11 |
申請公布號 | CN113912270A | 申請公布日 | 2022-01-11 |
分類號 | C03B20/00(2006.01)I | 分類 | 玻璃;礦棉或渣棉; |
發(fā)明人 | 陳富倫;劉明偉;倪玲 | 申請(專利權(quán))人 | 連云港太平洋半導體材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 馬志洋 |
地址 | 222000江蘇省連云港市東??h牛山街道晶都大道東路1067號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種高均勻合成石英坨的制備工藝,包括燒結(jié)爐、保溫爐、燃燒器、電動伸縮桿、石英玻璃靶托和加壓裝置,包括原料的組成:氫氣、氧氣和石英砂,燒結(jié)爐頂部兩端分別設(shè)有石英砂投放口和廢氣排出管道,燒結(jié)爐靠近底部一端安裝有燃燒器,燃燒器分為三層,兩端燃燒器分別固定連接有氫氣管道和氧氣管道,本發(fā)明的有益效果如下:通過多層燃燒器,保持石英坨的溫度,防止其底部冷卻速度過快,導致質(zhì)量出現(xiàn)問題;通過加壓裝置對石英坨進行擠壓,便于石英坨的成型,通過加熱加壓裝置,便于石英坨頂部氣泡的排除;通過使用抽真空設(shè)備,便于抽走空氣,幫助減少氣泡,通過使用保溫設(shè)備,便于石英坨緩慢降溫,防止降溫過快,防止其損壞。 |
