一種單晶硅柱面元件的加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910671460.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110465835B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN110465835B 申請公布日 2021-07-06
分類號 B24B1/00;B08B3/12;B08B3/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王哲;徐學(xué)科;吳令奇;方媛媛;宋力 申請（專利權(quán)）人 上海恒益光學(xué)精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光學(xué)超光滑加工領(lǐng)域，具體是一種單晶硅柱面元件的加工方法，利用古典拋光方法加工超光滑平面元件，經(jīng)超聲清洗后，使用大氣等離子體拋光設(shè)備進(jìn)行柱面成型，精修面形，多次迭代拋光，最終完成柱面元件的加工，解決了傳統(tǒng)柱面鏡加工中無法兼顧高精度與超光滑加工的問題。