一種基于變?nèi)コ瘮?shù)大氣等離子體的熔石英拋光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011238585.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112456807A 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN112456807A 申請公布日 2021-03-09
分類號 C03C15/00(2006.01)I;G06F17/15(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 彭冰;徐學(xué)科;頓愛歡;吳倫哲;王哲 申請（專利權(quán)）人 上海恒益光學(xué)精密機械有限公司
代理機構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 201800上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及硅基光學(xué)元件表面超光滑精密加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于變?nèi)コ瘮?shù)大氣等離子體的熔石英拋光方法。以解決現(xiàn)有大氣等離子體加工過程中去除函數(shù)非線性變化導(dǎo)致加工收斂率不高的問題。先進行前期變?nèi)コ瘮?shù)提取實驗，再對擬合出的變?nèi)コ瘮?shù)與理論去除量進行運算得出加工所需的駐留時間，采用大氣等離子體設(shè)備進行精修拋光，最終完成了熔石英光學(xué)元件的高精密、高效率加工。??