大口徑藍(lán)寶石窗口元件的雙面高精度拋光方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910671137.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110434681B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110434681B 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) B24B1/00（2006.01）I;B24B13/01（2006.01）I;B24B57/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 方媛媛;吳福林;王哲;頓愛(ài)歡;徐學(xué)科;賀洪波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海恒益光學(xué)精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 201800上海市嘉定區(qū)清河路390號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種大口徑藍(lán)寶石窗口元件的雙面高精度拋光方法，本發(fā)明不僅可以滿足大口徑藍(lán)寶石窗口元件的雙面反射面形優(yōu)于1/3λ，表面粗糙度優(yōu)于0.3nm，平行度優(yōu)于0.009，表面光潔度優(yōu)于Ⅲ級(jí)的加工要求，而且工藝簡(jiǎn)單，可直接在單軸拋光機(jī)上應(yīng)用，對(duì)設(shè)備要求低，可加工口徑范圍廣，生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低。