一種小F數(shù)凸雙曲面反射鏡檢測光路的搭建方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010013788.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111122121B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN111122121B 申請公布日 2021-07-06
分類號 G01M11/00;G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王哲;徐學(xué)科;朱小磊;吳令奇;方媛媛;宋力 申請（專利權(quán)）人 上海恒益光學(xué)精密機械有限公司
代理機構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光學(xué)檢測領(lǐng)域，具體是小F數(shù)凸雙曲面反射鏡檢測光路的搭建方法。解決了傳統(tǒng)小F數(shù)凸雙曲面反射鏡檢測光路難以搭建的問題。本發(fā)明利用會聚光斑快速使干涉儀與待測雙曲面鏡的光軸共線，并確定球面鏡的準確位置，最終高效完成檢測光路的搭建。