一種單晶硅柱面元件的加工方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910671460.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110465835A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110465835A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B1/00;B08B3/12;B08B3/02 | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 王哲;徐學(xué)科;吳令奇;方媛媛;宋力 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海恒益光學(xué)精密機(jī)械有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張寧展 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及光學(xué)超光滑加工領(lǐng)域，具體是一種單晶硅柱面元件的加工方法，利用古典拋光方法加工超光滑平面元件，經(jīng)超聲清洗后，使用大氣等離子體拋光設(shè)備進(jìn)行柱面成型，精修面形，多次迭代拋光，最終完成柱面元件的加工，解決了傳統(tǒng)柱面鏡加工中無(wú)法兼顧高精度與超光滑加工的問(wèn)題。 |
