一種多晶鑄錠爐
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201410526717.X | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN104250851A | 公開(kāi)(公告)日 | 2014-12-31 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN104250851A | 申請(qǐng)公布日 | 2014-12-31 |
分類(lèi)號(hào) | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 王土軍;徐聞韜;徐增宏 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 浙江硅宏電子科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 杭州九洲專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 陳繼亮 |
地址 | 324300 浙江省衢州市開(kāi)化縣華埠鎮(zhèn)華豐路28號(hào)硅宏 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種多晶鑄錠爐,該多晶鑄錠爐的坩堝位于隔熱籠中,坩堝頂部以及隔熱籠內(nèi)設(shè)有頂部加熱器,坩堝兩側(cè)以及隔熱籠內(nèi)設(shè)有側(cè)部加熱器,坩堝底部設(shè)有熱交換塊,熱交換塊呈凸形且凸起的一面與坩堝底部接觸,在熱交換塊上部凸起部分四周設(shè)置有隔熱條,在熱交換塊下部平板部分四周設(shè)置有保溫氈且至少超出熱交換塊的平板部分的底部10㎝以上。采用本發(fā)明,由于熱交換塊呈中間厚兩側(cè)薄,隔熱條可以延緩中間(即凸起部分)向兩側(cè)的散熱,保溫氈超出熱交換塊下部使底部有足夠的大縱向溫度梯度,使熱量能均勻的從熱交換塊下面輻射出來(lái),促進(jìn)均勻長(zhǎng)晶,提高鑄錠品質(zhì),又能充分保留爐體內(nèi)足夠多不熔化的硅料有利于下次鑄錠。 |
