擴(kuò)散石英舟的改進(jìn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201220135168.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN202487548U | 公開(kāi)（公告）日 | 2012-10-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN202487548U | 申請(qǐng)公布日 | 2012-10-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 韓波;丁巍;高常輝;袁前程 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州金源通匯專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司 |
| 地址 | 315040 浙江省寧波市高新區(qū)凌云路1177號(hào)-7號(hào)樓（寧波升科太陽(yáng)能股份有限公司） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散石英舟的改進(jìn)裝置，包括石英舟本體和舟叉，所述石英舟本體兩側(cè)設(shè)有與舟叉相配合的叉把，所述舟叉上設(shè)有螺母，其特征是所述螺母前端設(shè)有墊片。本實(shí)用新型得到的擴(kuò)散石英舟的改進(jìn)裝置，通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，來(lái)阻止石英舟與舟叉的碰撞，避免了石英舟的損壞而使得擴(kuò)散硅片的掉落，提高了生產(chǎn)的安全性，降低了生產(chǎn)成本，讓使用更加安全。 |
