單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220135192.3 申請日 -
公開（公告）號 CN202509158U 公開（公告）日 2012-10-31
申請公布號 CN202509158U 申請公布日 2012-10-31
分類號 C30B33/10(2006.01)I;C23G3/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 韓波;袁前程;高常輝;丁杰 申請（專利權(quán)）人 寧波升科太陽能股份有限公司
代理機構(gòu) 杭州金源通匯專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 寧波升科太陽能股份有限公司
地址 315040 浙江省寧波市高新區(qū)凌云路1177號-7號樓（寧波升科太陽能股份有限公司）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測裝置，包括安裝壁以及兩側(cè)邊與安裝壁固定連接的清洗槽，其特征是安裝壁上設(shè)有監(jiān)控清洗槽清潔度的紅外感應(yīng)攝像裝置，安裝壁外側(cè)還設(shè)有與紅外感應(yīng)攝像裝置相連接的控制電腦。本實用新型得到的單晶硅清洗槽潔凈度監(jiān)測裝置,能夠準確判斷槽體的狀況，根據(jù)槽體的潔凈度及時的處理槽體濃度，消除飄片影響，節(jié)省時間，提高效率且增加了收益，也有益于操作人員的健康。