一種生產(chǎn)大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110873609.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113683291A 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN113683291A 申請公布日 2021-11-23
分類號 C03B8/04 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 楊金鑫;肖華;胡邦紅;吳龍波;張旭陽;孫國鋒;鐘媛;張思旗 申請（專利權(quán)）人 江蘇亨芯石英科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 吳竹慧
地址 215200江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)交通北路168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)大尺寸、高均勻性合成石英玻璃砣的方法，該方法采用化學氣相沉積工藝，即向多個燃燒器中通入氫氣和氧氣，氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒進而對沉積爐爐腔進行預熱；預熱完成后，將沉積爐內(nèi)石英基板的溫度升高至指定溫度，同時啟動溫度探測器使其開始工作；通過每個燃燒器的下料管向沉積爐內(nèi)通入氣態(tài)含硅化合物，氫氣和氧氣在燃燒器中燃燒產(chǎn)生水蒸汽，該水蒸汽與氣態(tài)含硅化合物在沉積爐內(nèi)反應生成二氧化硅顆粒；二氧化硅顆粒在轉(zhuǎn)動的石英基板上逐漸沉積形成石英玻璃坨，且所述溫度探測器動態(tài)監(jiān)測二氧化硅顆粒沉積面的溫度分布；本發(fā)明通過增加燃燒器及沉積面溫度測試保證沉積面溫度的均勻性，從而保證石英玻璃的結(jié)構(gòu)均勻性。