光敏樹脂組合物、圖案形成方法及基板保護用覆膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010232187.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113448171A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113448171A 申請公布日 2021-09-28
分類號 G03F7/075（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;G03F7/11（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 柳善;吳賢珠 申請（專利權）人 蘇州深通新材料有限公司
代理機構(gòu) 成都超凡明遠知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 魏彥;金相允
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)12幢401-102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供負型光敏樹脂組合物、利用該組合物的圖案的形成方法及基板保護用覆膜的制備方法，負型光敏樹脂組合物包含：含有以下述化學式1及2表示的重復單位的光敏樹脂、官能單體及光引發(fā)劑。本發(fā)明的負型光敏樹脂組合物包含具有呫噸骨架的硅氧烷樹脂，從而具有耐熱性、基板硬度及基板密合性等優(yōu)異的物性。[化學式1][化學式2]