一種轉(zhuǎn)子鑄鋁用具的表面處理方法及其涂層

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810801138.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109207937A 公開(kāi)(公告)日 2019-01-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109207937A 申請(qǐng)公布日 2019-01-15
分類(lèi)號(hào) C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;B22C3/00 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 甄洪濱;曾柳娟;施松鈴 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 福建浦匯科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京元本知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 福建浦匯科技發(fā)展有限公司;甄洪濱
地址 355000 福建省寧德市福安市賽岐經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)賽江北路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種轉(zhuǎn)子鑄鋁用具的表面處理方法及其涂層。一種轉(zhuǎn)子鑄鋁用具的表面處理方法,包括:將所述用具放入真空室內(nèi)的轉(zhuǎn)盤(pán)上并啟動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán);清洗并刻蝕所述用具表面;在所述用具表面沉積Cr結(jié)合層;在所述Cr結(jié)合層上沉積由CrN和Cr交替形成的CrN/Cr支撐層;在所述CrN/Cr支撐層上沉積由AlTiN和CrN交替形成的AlTiN/CrN表面層。所述Cr結(jié)合層、CrN/Cr支撐層和AlTiN/CrN表面層采用多弧離子鍍沉積;其中,沉積Cr結(jié)合層、CrN/Cr支撐層的靶材為Cr靶;沉積AlTiN/CrN表面層的靶材為Cr靶和AlTi靶。本發(fā)明采用多層薄膜復(fù)合結(jié)構(gòu),可有效抑制裂紋的產(chǎn)生和擴(kuò)展,延長(zhǎng)鑄鋁用具的使用壽命。