一種多晶硅沉積用載體

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122304602.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215479765U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215479765U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C01B33/035（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉虎;侯哲輝;杜斌功;安生虎;李生全;高鵬;張永輝;火興宏;賈龍山;狄永順 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰;陽志全
地址 810000青海省西寧市東川工業(yè)園區(qū)昆侖東路20號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅沉積用載體，包括兩根管狀的硅芯和連接在兩根所述硅芯之間的硅橋，兩根所述硅芯的底部分別連接在還原爐的兩個(gè)不同的電極上，至少一根所述硅芯的表面開設(shè)有若干貫穿其管壁的第一沉積孔，所述硅橋的表面開設(shè)有若干貫穿其徑向的第二沉積孔。本實(shí)用新型采用兩根管狀的硅芯固定在還原爐電極底座上的不同電極上，利用硅橋連接相鄰的兩根管狀的硅芯，每根硅芯的管壁和硅橋的表面均形成多個(gè)貫穿的沉積孔，使得多晶硅還可以進(jìn)入到硅芯和硅橋的內(nèi)部進(jìn)行沉積，從而在有限的載體體積下顯著提高多晶硅沉積載體的表面積，提升硅棒的沉積速度。