一種電子級多晶硅硅塊酸洗裝置及酸洗籠

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111026971.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113699596A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113699596A 申請公布日 2021-11-26
分類號 C30B35/00（2006.01）I;C30B33/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C23F1/16（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 孫彥虎;郭海龍;周國峰;張萬軍;萬金蘭;劉虹賓;馬玉通;趙彩霞 申請（專利權(quán)）人 青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰;陽志全
地址 810000青海省西寧市東川工業(yè)園區(qū)昆侖東路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電子級多晶硅硅塊酸洗裝置及酸洗籠，酸洗裝置包括酸洗籠、酸洗池和驅(qū)動臂，酸洗籠的滾筒內(nèi)形成供硅塊容納的空腔，滾筒的周向上間隔地開設(shè)有連通空腔的若干進(jìn)液孔；滾筒具有周向上連續(xù)的嚙合齒面，酸洗池的第一側(cè)壁的內(nèi)表面凸設(shè)有沿其高度方向上延伸的齒面；兩個驅(qū)動臂分別與酸洗籠兩端的轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地連接，用于沿酸洗池的高度方向上往復(fù)移動，以帶動滾筒通過齒面的嚙合而旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的酸洗籠可以在酸洗液內(nèi)上下移動的過程中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而帶動籠內(nèi)的多晶硅硅塊翻轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了多晶硅硅塊與酸洗液的充分接觸反應(yīng)，高效去除表面金屬和酸斑，使得蝕刻更加均勻，因此，在提高酸洗效率的同時大幅度提升了電子級多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。