換靶裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922096394.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211199384U 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN211199384U 申請公布日 2020-08-07
分類號 C23C14/34 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐旻生;莊炳河;張曉鵬;王應(yīng)斌;龔文志;張亮;李永杰 申請（專利權(quán)）人 愛發(fā)科（中國）投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 愛發(fā)科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司;愛發(fā)科（中國）投資有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道科技北二路28號豪威大樓二樓A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于裝換靶材技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種換靶裝置，包括移動小車、導(dǎo)向?qū)к壱约斑B靶機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向?qū)к壟c移動小車滑接配合，并沿置靶方向延伸設(shè)置，且用于引導(dǎo)移動小車沿置靶方向移動，連靶機(jī)構(gòu)連接于移動小車，并用于與柱靶可拆卸連接。基于本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，在裝換柱板的過程中，柱靶不會發(fā)生側(cè)傾，從而避免了柱靶與靶槽的槽壁發(fā)生摩擦、磕碰等。