擴(kuò)散源涂覆裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610681849.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106065495B 公開(kāi)（公告）日 2018-10-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN106065495B 申請(qǐng)公布日 2018-10-23
分類號(hào) B05D1/00;B05D1/02;H01L21/228;C30B31/04 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 張松;劉成法;張為國(guó);劉超;陳寒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海大族新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海大族新能源科技有限公司
地址 201615 上海市閔行區(qū)聯(lián)航路1369弄6號(hào)305-2室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種擴(kuò)散源涂覆裝置。擴(kuò)散源涂覆裝置用于涂覆樣品，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、固定架、支架和噴嘴陣列，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與固定架連接，支架與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，噴嘴陣列與支架連接，噴嘴陣列包括多個(gè)噴嘴，多個(gè)噴嘴均設(shè)置于支架上，擴(kuò)散源涂覆裝置對(duì)樣品進(jìn)行涂覆時(shí)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)支架旋轉(zhuǎn)，使設(shè)置在支架上的噴嘴旋轉(zhuǎn)對(duì)樣品進(jìn)行擴(kuò)散源涂覆。上述擴(kuò)散源涂覆裝置能提高涂覆效果和加工效率，節(jié)約擴(kuò)散源材料、降低工藝成本。