擴散源涂覆裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610681849.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106065495B 公開（公告）日 2018-10-23
申請公布號 CN106065495B 申請公布日 2018-10-23
分類號 B05D1/00;B05D1/02;H01L21/228;C30B31/04 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 張松;劉成法;張為國;劉超;陳寒 申請（專利權(quán)）人 上海大族新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 上海大族新能源科技有限公司
地址 201615 上海市閔行區(qū)聯(lián)航路1369弄6號305-2室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種擴散源涂覆裝置。擴散源涂覆裝置用于涂覆樣品，包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、固定架、支架和噴嘴陣列，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與固定架連接，支架與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)連接，噴嘴陣列與支架連接，噴嘴陣列包括多個噴嘴，多個噴嘴均設(shè)置于支架上，擴散源涂覆裝置對樣品進行涂覆時，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動支架旋轉(zhuǎn)，使設(shè)置在支架上的噴嘴旋轉(zhuǎn)對樣品進行擴散源涂覆。上述擴散源涂覆裝置能提高涂覆效果和加工效率，節(jié)約擴散源材料、降低工藝成本。