IBC太陽電池及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610104676.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105609571B 公開（公告）日 2018-07-27
申請公布號 CN105609571B 申請公布日 2018-07-27
分類號 H01L31/04;H01L31/0288;H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉超;劉成法;張松;張為國;王佩然;陳寒 申請（專利權）人 上海大族新能源科技有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 上海大族新能源科技有限公司
地址 201112 上海市閔行區(qū)聯(lián)航路1369弄6號305-2室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種IBC太陽電池及其制作方法。該方法包括：將N型硅片的第一表面進行制絨處理，將其第二表面進行拋光；在第二表面上形成硼摻雜源層，將其放入熱氧化爐中進行反應，在第二表面上形成依次層疊的p+發(fā)射極層和硼硅玻璃層，在第一表面上形成氧化硅層；采用激光去除第二表面的特定區(qū)域的硼硅玻璃和p+發(fā)射極；將N型硅片放入磷源擴散爐中，在第二表面上形成n++表面場區(qū)域，在第一表面上依次形成n+表面場層和磷硅玻璃層；采用激光隔開第二表面上的p+發(fā)射極和n++表面場區(qū)域；去除硼硅玻璃和磷硅玻璃；在N型硅片的表面上分別形成鈍化層；在第二鈍化減反射膜層上分別制備正、負電極。上述IBC太陽電池及其制作方法，簡化工藝流程和步驟。