退火氧化設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510278862.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104916740B 公開（公告）日 2017-08-11
申請公布號 CN104916740B 申請公布日 2017-08-11
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張松;劉超;劉成法;徐大超;王鵬磊;季海晨;高云峰 申請（專利權(quán)）人 上海大族新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海大族新能源科技有限公司
地址 201615 上海市松江區(qū)九涇路1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種退火氧化設(shè)備，該設(shè)備包括爐體、傳送裝置、進(jìn)氣裝置、加熱裝置、冷卻裝置、保溫層和控制裝置。爐體一端設(shè)有進(jìn)料口，另一端設(shè)有出料口，所述爐體包括相互連通的加熱區(qū)和冷卻區(qū)，所述冷卻區(qū)靠近所述出料口；進(jìn)氣裝置位于爐體內(nèi)部并與爐體連通，加熱裝置和冷卻裝置均位于爐體外部，控制裝置分別與傳送裝置、加熱裝置、進(jìn)氣裝置和冷卻裝置連接。硅片經(jīng)進(jìn)料口進(jìn)入爐體，經(jīng)傳送裝置自進(jìn)料口向出料口運(yùn)動，硅片在爐體內(nèi)的運(yùn)動過程中，進(jìn)氣裝置不斷向爐體內(nèi)輸送氧氣，控制裝置通過控制加熱裝置、冷卻裝置以及傳送裝置進(jìn)而調(diào)節(jié)爐體內(nèi)的溫度和硅片的傳送速度，從而完成硅片的退火氧化工藝。硅片在從爐體中傳送并輸出的同時(shí)完成了硅片的退火氧化，減少了操作步驟，節(jié)約了生產(chǎn)時(shí)間。