一種硅板機(jī)械清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810334479.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN108573904B 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號(hào) CN108573904B 申請公布日 2021-08-20
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 艾蒙雁 申請（專利權(quán)）人 蕪湖揚(yáng)展新材料科技服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京元本知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 范奇
地址 241000 安徽省蕪湖市三山區(qū)龍湖街道8號(hào)創(chuàng)業(yè)大街2號(hào)樓228室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅板機(jī)械清洗裝置，涉及微電子清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括承載裝置和清洗裝置，清洗裝置包括轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤下表面設(shè)有軟羊毛刷，轉(zhuǎn)盤頂部連接有電機(jī)，承載裝置包括承載底座，承載底座中心對稱設(shè)有四個(gè)承載滑槽，承載滑槽內(nèi)設(shè)有固定組件，固定組件包括U型框和擋板，U型框兩端內(nèi)壁設(shè)有T型滑槽，擋板兩端設(shè)有T型凸起，T型凸起與T型滑槽滑動(dòng)連接。通過本裝置，可以快速對硅板完成更換和翻轉(zhuǎn)，減少了更換硅板的時(shí)間，提高了工作效率。