一種MASK目視檢查機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011324027.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112345525A 公開（公告）日 2021-02-09
申請公布號 CN112345525A 申請公布日 2021-02-09
分類號 G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王景新;張建國 申請（專利權(quán)）人 深圳清溢光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 宮建華
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山二路北清溢光電大樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種MASK目視檢查機(jī)，用于對掩膜版的各生產(chǎn)工序進(jìn)行檢查并與取放版機(jī)械手進(jìn)行對接，包括檢查機(jī)主體、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、可在任意角度目視檢測MASK正反面的裝夾平臺，所述裝夾平臺包括平臺底架、兩個對稱設(shè)置于底架左右兩邊的傳動機(jī)構(gòu)、兩個與對應(yīng)的傳動機(jī)構(gòu)裝配在一起并可相對于所述平臺底架進(jìn)行左右移動的裝夾板，該MASK目視檢查機(jī)在取放版、不同規(guī)格調(diào)整、角度旋轉(zhuǎn)的操作均實(shí)現(xiàn)自動操作，可針對MASK尺寸進(jìn)行裝夾調(diào)整并兼容不同規(guī)格的MASK，檢查過程角度可自動旋轉(zhuǎn)并任意角度停止，可一次裝夾檢查正反面及在不同角度檢查，與上下版機(jī)械手實(shí)現(xiàn)無縫對接，省去人工抬版的過程并實(shí)現(xiàn)MASK車間自動化。??