一種光掩膜清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821758937.5 申請日 -
公開（公告）號 CN209577525U 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN209577525U 申請公布日 2019-11-05
分類號 B08B3/02（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 熊啟龍; 鄢紅軍 申請（專利權(quán)）人 深圳清溢光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳娟
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)朗山二路北清溢光電大樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光掩膜清洗裝置，包括進(jìn)液管，所述進(jìn)液管為兩個，在兩個進(jìn)液管的末端具有一段混合管，每一個所述進(jìn)液管上安裝氣閥，所述混合管內(nèi)部具有螺旋導(dǎo)流片，所述混合管末端安裝液簾噴頭。本實用新型是一種清洗光掩膜上有機(jī)污染物的改進(jìn)裝置，可以在更近的距離內(nèi)完成工作，使清洗更加精確與徹底，并且不會產(chǎn)生液體飛濺的問題。