一種提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121796789.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215769348U | 公開（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215769348U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-08 |
| 分類號(hào) | G03F1/82（2012.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 黃志斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳清溢光電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科家知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 宮建華 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山二路北清溢光電大樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夾具，包括夾具本體，為設(shè)備主要的夾持結(jié)構(gòu)，所述夾具本體的內(nèi)表面設(shè)置有連接臂，所述連接臂的另一端連接有螺桿；清洗池，位于所述夾具本體的底端，所述清洗池的內(nèi)表面設(shè)置有連接桿；套筒，位于所述夾具本體的頂端，所述套筒內(nèi)部與所述的螺桿外表面相互連接。該提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夾具，通過設(shè)置八個(gè)支撐座對(duì)掩膜版的側(cè)面進(jìn)行固定，能夠提高對(duì)掩膜版支撐的穩(wěn)定性，避免在清洗過程中施力不均勻而導(dǎo)致掩膜版從夾具內(nèi)部翹起，不僅增加了清洗的安全性，同時(shí)也增加了對(duì)掩膜版的清洗效率。 |
