一種異形玻璃掩膜版生產(chǎn)方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010639006.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111830784A | 公開（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請公布號 | CN111830784A | 申請公布日 | 2020-10-27 |
| 分類號 | G03F1/82(2012.01)I;G03F1/68(2012.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 荊學(xué)軍;熊啟龍 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳清溢光電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 宮建華 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山二路北清溢光電大樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實施例涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種異形玻璃掩膜版生產(chǎn)方法，該方法通過接收待生產(chǎn)掩膜版圖形，通過CAM系統(tǒng)對所述待生產(chǎn)掩膜版圖形進(jìn)行處理；根據(jù)CAM系統(tǒng)的處理結(jié)果，對玻璃掩膜版進(jìn)行常規(guī)工藝處理；對常規(guī)工藝處理后玻璃掩膜版進(jìn)行異性工藝處理，則完成異性玻璃掩膜版生產(chǎn)進(jìn)行包裝出貨，本發(fā)明實施例提供的異形玻璃掩膜版生產(chǎn)方法實現(xiàn)了異形玻璃掩膜版生產(chǎn)，尤其通過異形加工前的掩膜版保護(hù)和異形加工后的清洗，使得加工過程中不損壞掩膜版的功能。?? |
