一種提升光刻速度的方法、裝置、存儲介質(zhì)及終端設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010790774.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111999985A | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請公布號 | CN111999985A | 申請公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 郝明毅;朱春輝 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳清溢光電股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 宮建華 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山二路北清溢光電大樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實施例涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種提升光刻速度的方法，該方法通過實時檢測當前掃描寬度是否小于預(yù)設(shè)掃描寬度；若當前掃描寬度小于預(yù)設(shè)掃描寬度，讀取經(jīng)圖形轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)，像素生成器解壓所述數(shù)據(jù)，并刪除解壓后的數(shù)據(jù)兩端冗余像素數(shù)據(jù)，獲得有效像素數(shù)據(jù)；根據(jù)讀取的所述有效像素數(shù)據(jù)，控制柵式光閥的微結(jié)構(gòu)；根據(jù)設(shè)定參數(shù)和所述有效像素數(shù)據(jù)，將圖形刻制在工件上，所述預(yù)定參數(shù)包括激光器脈沖頻率、激光器的輸出能量及運動平臺的運動速度，本發(fā)明，當掃描寬度減小時，柵式光閥每一幀都只裝載有效像素數(shù)據(jù)，從而提升單位時間內(nèi)裝載的幀數(shù)，提升柵式光閥的刷新率。?? |
