晶圓片過(guò)溶液時(shí)防漂浮裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121160690.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215236327U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215236327U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) B08B3/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;C30B33/10（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 蔡錦波;谷海明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 馬鞍山市檳城電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 潘登
地址 243000安徽省馬鞍山市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)湖西南路2189號(hào)5棟1號(hào)廠房南面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓片過(guò)溶液時(shí)防漂浮裝置。該晶圓片過(guò)溶液時(shí)防漂浮裝置包括提籃、花籃以及防浮件。提籃包括相連的主體部和安裝部，安裝部用于安裝至機(jī)械手?；ɑ@位于提籃的下方且與提籃可拆卸地連接，花籃具有用于容納物體的容納腔。防浮件可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于主體部，防浮件能夠擺動(dòng)至抵壓物體的抵壓位置，以使得物體限位于容納腔，或者防浮件能夠擺動(dòng)至遠(yuǎn)離物體的避讓位置。防浮件包括相連的豎直部和水平的抵壓部，抵壓部用于抵壓物體，豎直部可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于主體部。在清洗晶圓片或者處理晶圓片表面時(shí)，可以旋轉(zhuǎn)防浮件，使得防浮件擺動(dòng)至抵壓位置，使得晶圓片限位于容納腔，使得晶圓片不會(huì)浮出溶液或者掉落至溶液中。