高粘著性正型光刻膠組合物及其合成方法和固化膜

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110802518.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113641081A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113641081A 申請公布日 2021-11-12
分類號 G03F7/075（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳旺;康威;康凱 申請（專利權(quán)）人 深圳迪道微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王華
地址 518000廣東省深圳市坪山區(qū)坪山街道六聯(lián)社區(qū)坪山大道2007號創(chuàng)新廣場A601
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高粘著性正型光刻膠組合物及其合成方法和固化膜，高粘著性正型光刻膠組合物包括有機溶劑和溶解在有機溶劑中的溶質(zhì)，溶質(zhì)包括含環(huán)氧基團的硅氧烷共聚物、丙烯酸共聚物、1,2?二疊氮醌類化合物和表面活性劑，溶質(zhì)中含環(huán)氧基團的硅氧烷共聚物的重量比例為50?90wt%。本發(fā)明的高粘著性正型光刻膠組合物包含硅氧烷共聚物和丙烯酸共聚物，合成固化膜時硅氧烷共聚物和丙烯酸共聚物共同作為粘合劑，該硅氧烷共聚物由（R1）m（R2）n Si（OR3）4?m?n表示的硅烷中的兩種以上通過共聚反應(yīng)得到，提高了光刻膠組合物的粘著性和殘膜率，同時，由該光刻膠組合物制成的固化膜，浸沒在有機溶劑、酸或堿中或與有機溶劑、酸或堿接觸時，有效改善了溶脹或膜與襯底出現(xiàn)分層的問題。