一種雙向管式PECVD系統(tǒng)及其制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910948586.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110760821A 公開（公告）日 2020-02-07
申請公布號 CN110760821A 申請公布日 2020-02-07
分類號 C23C16/458;C23C16/513 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱旭東;史孟杰 申請（專利權）人 無錫嘉瑞光伏有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張超
地址 214200 江蘇省無錫市宜興市金張渚工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙向進出管式PECVD系統(tǒng)，包括至少一個設備進口和一個設備出口，自設備進口朝向設備出口依次設置放舟部、預熱部、PECVD工藝反應爐管、冷卻部和取舟部，放舟部將石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部將石墨舟放至預熱部進行預熱，預熱完成后石墨舟移動到PECVD工藝反應爐管進行反應，結束后再到冷卻部冷卻，冷卻結束后通過取舟部將石墨舟取出設備。本發(fā)明還公開了此種雙向進出管式PECVD系統(tǒng)的制備工藝。采用本發(fā)明的設計，采用雙向進出的模式進行PECVD反應，當進行PECVD反應的同時能夠進行預熱操作，大大加快了生產(chǎn)工藝的進程。