一種PECVD用石墨舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921668427.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211170885U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211170885U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號(hào) | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 朱旭東;史孟杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫嘉瑞光伏有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張超 |
| 地址 | 214200江蘇省無錫市宜興市金張渚工業(yè)區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種PECVD用石墨舟，包括多層堆疊設(shè)置的石墨舟片，相鄰的石墨舟片間有用于放置硅片的空隙，在石墨舟片的靠近邊緣處有兩根將多片石墨舟片串接的電極柱，相鄰的兩片石墨舟片，分別連接到兩根電極柱，即相鄰的兩片石墨舟片，一片只接一根電極柱，另一片不再連接當(dāng)前電極柱，而是連接另一根電極柱。采用此種設(shè)計(jì)，能夠在相鄰的兩個(gè)石墨舟片形成不同的極性。?? |
