一種雙向進出管式PECVD設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921668142.X 申請日 -
公開（公告）號 CN211170884U 公開（公告）日 2020-08-04
申請公布號 CN211170884U 申請公布日 2020-08-04
分類號 C23C16/458(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 朱旭東;史孟杰 申請（專利權）人 無錫嘉瑞光伏有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張超
地址 214200江蘇省無錫市宜興市金張渚工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種雙向進出管式PECVD設備，包括至少一個設備進口和一個設備出口，自設備進口朝向設備出口依次設置放舟部、預熱部、PECVD工藝反應爐管、冷卻部和取舟部，放舟部將石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部將石墨舟放至預熱部進行預熱，預熱完成后石墨舟移動到PECVD工藝反應爐管進行反應，結束后再到冷卻部冷卻，冷卻結束后通過取舟部將石墨舟取出設備。采用本實用新型的設計，采用雙向進出的模式進行PECVD反應，當進行PECVD反應的同時能夠進行預熱操作，大大加快了生產工藝的進程。??