一種非晶硅X光圖像傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010345362.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111508985A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111508985A 申請公布日 2020-08-07
分類號 H01L27/146;C23C14/06 分類 -
發(fā)明人 段明浩 申請（專利權(quán)）人 西安瀚維光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 韓玙
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)上林苑一路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非晶硅X光圖像傳感器，包括含有非晶硅感光芯片的X光成像系統(tǒng)，非晶硅感光芯片感光面通過真空熱蒸鍍法蒸鍍碘化銫粉末形成閃爍體膜，X光經(jīng)過閃爍體膜轉(zhuǎn)化為可見光，閃爍體膜表面蒸鍍納米防水封裝膜，納米防水封裝膜上貼敷黑色PET膜；在非晶硅圖像傳感器的非晶硅感光芯片的感光面蒸鍍碘化銫形成閃爍體膜，直接用化學(xué)氣相沉積法蒸鍍防水性能極好的派瑞林C，然后，在防水膜上貼敷黑色PET膜吸收雜散光，能夠有效提高了X光圖像分辨率；同時，大大提高產(chǎn)品防水性能和可靠性。