一種位置信息采集系統(tǒng)及曝光系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021595399.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213956258U 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN213956258U 申請公布日 2021-08-13
分類號 G01B11/02（2006.01）I;G08C23/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張峰;李偉成;張雷 申請（專利權(quán)）人 蘇州源卓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215026江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)汀蘭巷192號C5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種位置信息采集系統(tǒng)及曝光系統(tǒng)，所述位置信息采集系統(tǒng)包括讀數(shù)頭和位置檢測板、電光轉(zhuǎn)換模塊、光電轉(zhuǎn)換模塊和光纖，所述讀數(shù)頭連接電光轉(zhuǎn)換模塊，所述位置檢測板連接光電轉(zhuǎn)換模塊，所述電光轉(zhuǎn)換模塊和所述光電轉(zhuǎn)換模塊通過光纖連接。所述曝光系統(tǒng)包括移動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)、投圖控制系統(tǒng)，通過上述位置信息采集系統(tǒng)連接所述移動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)和投圖控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型利用光纖傳輸位置信息，有效減少了電磁干擾對位置檢測板的影響，進(jìn)而獲得穩(wěn)定可靠的位置信號。