一種DMD多區(qū)域激光投影系統(tǒng)及曝光方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811151981.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109116686B | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109116686B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張雷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州源卓光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王新生 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)汀蘭巷192號(hào)C5幢102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種DMD多區(qū)域激光投影系統(tǒng)及曝光方法，包括DMD控制系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、掩膜板、分圖系統(tǒng)及運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，本發(fā)明在單個(gè)DMD上顯示多個(gè)曝光圖形，配合光學(xué)系統(tǒng)，把多個(gè)曝光圖形映射到掩膜板的不同曝光區(qū)域進(jìn)行曝光，整個(gè)系統(tǒng)可以使用單個(gè)DMD或多個(gè)DMD同時(shí)曝光，按此發(fā)明的方法曝光可以快速提高曝光整體時(shí)間，同時(shí)又節(jié)約DMD的物料成本。?? |
