一種雙臺面直寫式曝光機(jī)及其曝光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911006996.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112698549A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112698549A 申請公布日 2021-04-23
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 章衛(wèi)平;劉棟;蔡瑞;朱道龍;李偉成;張雷 申請（專利權(quán)）人 蘇州源卓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215026 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)汀蘭巷192號C5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種雙臺面直寫式曝光機(jī)及其曝光方法，所述直寫式曝光機(jī)包括底座、設(shè)置于底座上的龍門機(jī)構(gòu)、順序設(shè)置于龍門機(jī)構(gòu)的對位機(jī)構(gòu)和曝光機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述底座平行排列的沿掃描方向y方向延伸的導(dǎo)軌，分別設(shè)置于所述導(dǎo)軌上的第一工作臺運(yùn)動和第二工作臺，所述第一工作臺和所述第二工作臺均包括置于所述導(dǎo)軌上的z軸運(yùn)動機(jī)構(gòu)、連接于所述z軸運(yùn)動機(jī)構(gòu)的基板臺面，z軸運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動基板臺面在z軸方向上下滑動，所述曝光機(jī)構(gòu)包括固定于龍門機(jī)構(gòu)的x方向排列的多個鏡頭。在曝光時，第一工作臺和第二工作臺交替對位曝光操作。能夠提高曝光精度并且避免第一工作臺和第二工作臺相撞。