一種有機發(fā)光顯示器用掩模板開口的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410501856.7 申請日 -
公開（公告）號 CN104294215B 公開（公告）日 2019-02-12
申請公布號 CN104294215B 申請公布日 2019-02-12
分類號 C23C14/04;C23C14/24 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 魏志凌;楊濤;王峰 申請（專利權(quán)）人 昆山允升吉光電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)紅楊路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種有機發(fā)光顯示器用掩模板開口的制作方法，其包括：激光形成開口步驟，所述激光形成開口步驟是通過激光頭發(fā)射在方向上與掩?；逅谄矫娉输J角的激光束，所述激光頭發(fā)射的所述激光束在所述掩模基板上按照預(yù)設(shè)的軌跡運行并在所述掩?；迳闲纬砷_口，從而形成掩模板，所述形成在掩?；迳系拈_口靠近所述激光頭一側(cè)的邊緣圍成的面積S1小于背離所述激光頭一側(cè)的邊緣圍成的面積S2；通過該工藝制作掩模板開口能夠避免采用傳統(tǒng)化學(xué)蝕刻制作掩模板開口所帶來的環(huán)境損害問題，亦能保證掩模板在靠近沉積基板一側(cè)的開口（小開口）邊緣（邊緣所圍成面積為S1）具有較好的直線度，能夠很好的滿足有機發(fā)光顯示器有機材料的蒸鍍應(yīng)用。