一種掩模板硬質(zhì)框架載臺(tái)及其調(diào)整方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410501857.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104294216B 公開(kāi)（公告）日 2019-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN104294216B 申請(qǐng)公布日 2019-05-10
分類(lèi)號(hào) C23C14/04（2006.01）I; C23C14/50（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 魏志凌; 楊濤; 張煒平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 昆山允升吉光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)紅楊路888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種掩模板硬質(zhì)框架載臺(tái)及其調(diào)整方法，載臺(tái)包括基架、頂起機(jī)構(gòu)、調(diào)平機(jī)構(gòu)、支撐板以及定位機(jī)構(gòu)，本發(fā)明為掩模板組裝過(guò)程提供一個(gè)硬質(zhì)框架的承載平臺(tái)，該承載平臺(tái)具有較強(qiáng)的機(jī)動(dòng)性及實(shí)用性，能夠較好的滿(mǎn)足掩模板高精度組裝的要求。