多臺測試設(shè)備批量測試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710775817.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107706121B 公開（公告）日 2020-05-26
申請公布號 CN107706121B 申請公布日 2020-05-26
分類號 H01L21/66;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧漢玉;張建文 申請（專利權(quán)）人 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍工業(yè)區(qū)寶龍五路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多臺測試設(shè)備批量測試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)，包括：使用所述多臺測試設(shè)備對標定元件進行測試，根據(jù)測出的值得到各測試設(shè)備的相對修正系數(shù)，每臺測試設(shè)備上設(shè)有標定元件，標定元件的精度高于所述多臺測試設(shè)備的測試精度；使用所述多臺測試設(shè)備批量測試待測元件，將從測試設(shè)備直接讀取的值作為各待測元件的實測值；通過待測元件使用的測試設(shè)備的相對修正系數(shù)對實測值進行修正，得到所述待測元件的實際值。上述多臺測試設(shè)備批量測試的精度一致性修正方法和系統(tǒng)，通過各測試設(shè)備的相對修正系數(shù)來保證待測元件的精度加工，不需要逐個調(diào)整測試設(shè)備到標準機的精度標準就能保證待測元件的加工精度，省時省力，加工效率明顯提高。