多晶硅生產中氯硅烷的分離方法以及分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110687508.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113247908A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113247908A 申請公布日 2021-08-13
分類號 C01B33/107（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 劉鐵勇;唐紅萍 申請（專利權）人 北京澤華化學工程有限公司
代理機構 北京唐頌永信知識產權代理有限公司 代理人 劉偉;任瑋靜
地址 100095北京市海淀區(qū)地錦路7號院8號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶硅生產中氯硅烷的分離方法以及分離裝置，其方法包括下述步驟：干法回收原料S101進入回收料精制塔T1分離，塔頂采出含有部分二氯二氫硅的物流S102，塔上部側線采出含有三氯氫硅和剩余的二氯二氫硅的物流S103，塔下部側線采出含有部分四氯化硅的物流S104，塔釜采出含有剩余四氯化硅的物流S105；含有部分二氯二氫硅的物流S102和一部分含有部分四氯化硅的物流S104進入反歧化反應器R1中反應，反應所得到的產物流S201進入反歧化分離塔T2分離，塔頂采出含有二氯二氫硅的物流S204，塔側線采出含有三氯氫硅的物流S205，塔釜采出四氯化硅產品S206。該方法降低了投資，利于控制產品指標，并且降低了操作能耗，提高了分離指標。