大量程亞微米級(jí)高精度氣電轉(zhuǎn)換器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310541652.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN103528490B | 公開（公告）日 | 2016-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103528490B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-04-06 |
| 分類號(hào) | G01B7/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 蔣文郁;賀黎明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫市邁日機(jī)器制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無錫市邁日機(jī)器制造有限公司 |
| 地址 | 214101 江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)芙蓉中三路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一大量程亞微米級(jí)高精度氣電轉(zhuǎn)換器，其包括雙穩(wěn)氣壓測(cè)量室、精密信號(hào)調(diào)理部及PC機(jī)；氣體穩(wěn)壓過濾器連接雙穩(wěn)氣壓測(cè)量室，所述雙穩(wěn)氣壓測(cè)量室連接壓電傳感器，精密可調(diào)雙穩(wěn)壓基準(zhǔn)電源分別與壓電傳感器及調(diào)零器連接；壓電傳感器依次與高增益放大器、調(diào)零器、有源濾波器、A/D轉(zhuǎn)換器、單片機(jī)連接；所述有源濾波器連接模擬輸出接口；所述單片機(jī)連接232串行接口；所述232串行接口連接PC機(jī)，PC機(jī)通過232串行接口與單片機(jī)進(jìn)行快速實(shí)時(shí)通訊，能實(shí)時(shí)地獲取單片機(jī)獲得的氣電轉(zhuǎn)換器的測(cè)量值。本發(fā)明有效提高了轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)換精度；在測(cè)量范圍精度高；測(cè)量范圍在±40um時(shí)，從而適合了多品種、高精密柔性生產(chǎn)線的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量需求。 |
