一種聲波探測(cè)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811490922.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109489804B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109489804B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01H11/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張中俠;鄧海蛟;王天堃 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 金華伏安光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 楊劍 |
| 地址 | 317100 浙江省臺(tái)州市三門(mén)縣浦壩港鎮(zhèn)梅岙村西片324號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種聲波探測(cè)器,包括襯底層,所述襯底層的上方設(shè)置有半導(dǎo)體層，所述半導(dǎo)體層的上方設(shè)置有絕緣層，所述絕緣層的上方設(shè)置有柔性載體層，所述柔性載體層的上方設(shè)置有石墨烯層,該聲波探測(cè)器，通過(guò)聲波傳遞到石墨烯層，產(chǎn)生形變，引起石墨烯層的介電常數(shù)發(fā)生變化，通過(guò)檢測(cè)石墨烯層所加載的電壓的變化，進(jìn)行聲波的檢測(cè)；同時(shí)該聲波探測(cè)器的半導(dǎo)體層可以與調(diào)控電壓進(jìn)行電連接，以便作為柵極，調(diào)控石墨烯層的介電常數(shù)；也可以通過(guò)入射光直接入射石墨烯層，使得石墨烯層的介電常數(shù)變化，對(duì)石墨烯層的介電常數(shù)進(jìn)行調(diào)控。 |
