一種聲波探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811490922.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109489804B 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN109489804B 申請公布日 2021-09-28
分類號 G01H11/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張中俠;鄧海蛟;王天堃 申請（專利權(quán)）人 金華伏安光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊劍
地址 317100 浙江省臺州市三門縣浦壩港鎮(zhèn)梅岙村西片324號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種聲波探測器,包括襯底層,所述襯底層的上方設(shè)置有半導(dǎo)體層，所述半導(dǎo)體層的上方設(shè)置有絕緣層，所述絕緣層的上方設(shè)置有柔性載體層，所述柔性載體層的上方設(shè)置有石墨烯層,該聲波探測器，通過聲波傳遞到石墨烯層，產(chǎn)生形變，引起石墨烯層的介電常數(shù)發(fā)生變化，通過檢測石墨烯層所加載的電壓的變化，進(jìn)行聲波的檢測；同時該聲波探測器的半導(dǎo)體層可以與調(diào)控電壓進(jìn)行電連接，以便作為柵極，調(diào)控石墨烯層的介電常數(shù)；也可以通過入射光直接入射石墨烯層，使得石墨烯層的介電常數(shù)變化，對石墨烯層的介電常數(shù)進(jìn)行調(diào)控。