生物傳感用微針及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910459323.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110693503A 公開（公告）日 2020-01-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN110693503A 申請(qǐng)公布日 2020-01-17
分類號(hào) A61B5/15 分類 醫(yī)學(xué)或獸醫(yī)學(xué)；衛(wèi)生學(xué);
發(fā)明人 李巖;張航;埃里克J.M.布隆迪爾;崔波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東往圣新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州橙知果專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 淄博探微納米科技有限責(zé)任公司;廣東往圣新材料科技有限公司
地址 255000 山東省淄博市高新區(qū)政通路135號(hào)高科技創(chuàng)業(yè)園E座531-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種生物傳感用微針及其制造方法。所述方法包括在基板的寬面上沉積至少一層光刻膠，并且所述光刻膠隨后被圖案化以確定所述微針的特征。以深反應(yīng)離子蝕刻（DRIE）的形式進(jìn)行的第一次蝕刻處理用于將所述基板蝕刻到所述蝕刻深度小于所述基板總深度的第一結(jié)構(gòu)中，以產(chǎn)生至少一個(gè)與所述光刻膠下所述基板部分相鄰的犧牲特征。隨后以各向同性濕法蝕刻的所述形式進(jìn)行第二次蝕刻處理，其中至少一個(gè)所述犧牲特征的蝕刻使蝕刻速率沿所述微針的所述長(zhǎng)度逐漸變化，從而使所述微針尖變鋒利。