三軸微型加速度計(jì)靜態(tài)性能的測(cè)試裝置及其測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200910057623.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN101957387B | 公開（公告）日 | 2012-04-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN101957387B | 申請(qǐng)公布日 | 2012-04-18 |
| 分類號(hào) | G01P21/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 鄒波;華亞平;付世 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 丹陽深迪亞微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201203 上海市張江高科技園區(qū)晨暉路88號(hào)1號(hào)樓307室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種三軸微型加速度計(jì)靜態(tài)性能的測(cè)試裝置及其測(cè)試方法，該測(cè)試裝置的馬達(dá)為測(cè)試平臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)提供動(dòng)力，傳動(dòng)軸是馬達(dá)的動(dòng)力傳輸裝置且為測(cè)試平臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)傳輸動(dòng)力，法蘭是將測(cè)試母板和連接裝置固定在傳動(dòng)軸上，測(cè)試母板上裝有用于測(cè)試一待測(cè)器件信號(hào)的測(cè)試回路并輸出信號(hào)，Y方向定位板和X方向定位板固定在連接裝置上，間隔塊固定于測(cè)試板的一端，測(cè)試板為兩塊并相對(duì)于馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)的軸心對(duì)稱安置，測(cè)試板上裝有待測(cè)器件定位槽且一端插入插槽中，插槽安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)裝置上，并分別置于X方向定位板的兩側(cè)，與測(cè)試母板有電線連接，連接裝置固定在法蘭上。本發(fā)明能完成器件的靈敏度和零點(diǎn)偏置等多種性能的測(cè)試。 |
