通過(guò)對(duì)稱(chēng)折疊梁彈簧解耦的單晶硅MEMS陀螺儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910057624.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101957200A 公開(kāi)（公告）日 2012-05-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN101957200A 申請(qǐng)公布日 2012-05-23
分類(lèi)號(hào) G01C19/56;B81B7/02 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄒波 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 丹陽(yáng)深迪亞微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市張江高科技園區(qū)晨暉路88號(hào)1號(hào)樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種通過(guò)對(duì)稱(chēng)折疊梁彈簧解耦的單晶硅MEMS陀螺儀，其包括定子和轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子包括單晶硅質(zhì)量塊、十六個(gè)對(duì)稱(chēng)折疊梁彈簧和四組可動(dòng)梳齒，十六個(gè)對(duì)稱(chēng)折疊梁彈簧位于單晶硅質(zhì)量塊的周?chē)遗c單晶硅質(zhì)量塊相連，四組可動(dòng)梳齒分布在轉(zhuǎn)子的四周；定子包括四組固定式梳齒，四組固定式梳齒與轉(zhuǎn)子上的四組可動(dòng)梳齒交叉并形成電容器。本發(fā)明陀螺儀通過(guò)對(duì)稱(chēng)折疊梁彈簧結(jié)構(gòu)有效解耦，同時(shí)單晶硅質(zhì)量塊關(guān)于中心對(duì)稱(chēng)，可使整個(gè)結(jié)構(gòu)達(dá)到在驅(qū)動(dòng)和感應(yīng)方向有相匹配的諧振頻率，在驅(qū)動(dòng)方向有大諧振位移，感應(yīng)模式下有高品質(zhì)因子，以及低機(jī)械串?dāng)_，從而達(dá)到高靈敏度和低噪音的目標(biāo)。